測氟難?TRACER 5G手持XRF破局!
點擊(jī)上方圖片進入產(chǎn)品詳情頁麵
突破輕元(yuán)素檢測(cè)極限
氟(F)——現代工業的“關鍵先生”,也是潛伏的(de)“麻煩(fán)製造者(zhě)”!
在尖端半導(dǎo)體製造(zào)中,氟基氣體(如CF4, NF3)是蝕刻、沉積、清洗工(gōng)藝不可或缺的“利器”,其精準控製直接關乎芯片性(xìng)能和良率。然而,氟的“調皮”屬(shǔ)性(xìng)也帶來挑戰(zhàn):殘(cán)留的(de)氟化合物可能腐蝕精密部件,汙(wū)染製程,甚至導致昂(áng)貴的設備宕機!
在環境保護領域,含氟的持久性有機汙(wū)染物(PFAS),如全氟烷基磺酸鹽(PFASs)和聚四氟(fú)乙烯(PTFE)相關物(wù)質,因其在環(huán)境(土壤、水體)和人體中極難降解(被(bèi)稱(chēng)為(wéi)“永久化學(xué)品”)並具有潛(qián)在健(jiàn)康風險,已成為全球監管和治理的(de)焦點。消防(fáng)泡沫、防護塗層、不粘(zhān)炊具、潤滑劑(如自行車鏈蠟、滑雪蠟)都可能成為PFAS的來源。
行業(yè)痛點與(yǔ)挑戰
無論是確保萬億級芯片產線的純淨,還是鎖定無處不在的“永久化學品”,快速(sù)、精準地檢(jiǎn)測氟元素,都是破局的關鍵!傳統方法(fǎ)?力不從心(xīn)!
實驗室送檢:周期長(耽誤生產(chǎn)排期/汙染擴散)、成本高(大規模篩查難以承受(shòu))、樣(yàng)品破壞性(xìng)(珍貴晶圓(yuán)/複雜基(jī)體)。
常規手持(chí)XRF: 對氟(F)等超輕元素束手無策,無法現(xiàn)場給出答案!
檢測難題亟(jí)待破解:如(rú)何做到 輕、快、準?
TRACER 5G
布(bù)魯克(Bruker)推(tuī)出的科研級手(shǒu)持式XRF分析儀——TRACER 5G,正是為解決此類嚴苛(kē)挑戰而生。它不僅僅(jǐn)是一款手持設備,更代表(biǎo)了輕(qīng)元素檢測領域的(de)一項重(chóng)大突破。

核心技術:
TRACER 5G的核心革新在於其革命性的探測器窗口:它采用(yòng)了(le)1μm厚(hòu)度的石墨烯窗口,取代了傳統的8μm鈹窗。

Q:為何是石墨烯?
A:這種由單層碳原(yuán)子構成的二維材料,結構異常堅固,卻具有超薄的特(tè)性。
Q:帶來了什麽改(gǎi)變?
A: 石墨(mò)烯窗口實現了更高的X射線透射率,顯著提升了對輕元素尤其是氟(fú)(F)的檢測靈敏度!
此外,
鈉 (Na)¹ 靈敏度提(tí)升 3倍(bèi)
鎂 (Mg)¹ 靈敏度提升(shēng) 2倍
氦氣環境 (He²) 下,Na檢測限可達 300 ppm
氦氣(qì)環境 (He²) 下,Mg檢測限可達 100 ppm
氟 (F) 檢測能(néng)力獲得質的飛躍
關鍵突破: 實現現場、快速、無損檢測氟(fú)(F)元素!

解決氟(fú)檢測痛點
TRACER 5G如何化(huà)身“氟”務專家(jiā)?看兩(liǎng)大硬核應用場景:
· 案(àn)例1:半導(dǎo)體製造過程中的氟檢測——氟(fú)殘留與材料鑒別
痛點:
工藝腔室、晶圓載具、管道內壁殘留的氟(fú)化物(如蝕刻副產物)是隱形殺手;新型耐等離子(zǐ)體材料氧氟化釔 (YOF) 正逐(zhú)步(bù)取代氧化釔(yǐ) (Y₂O₃),但如何快速確(què)認使用的是YOF(含氟)還是(shì)Y₂O₃(不含(hán)氟)?
TRACER 5G 解決方案:
快(kuài)速篩查殘留: 無需拆卸,直(zhí)接在設備部件、腔體表麵或晶圓(非功能區)進行(háng)無損測量,數秒內定位氟(fú)汙染熱點,預警潛在風險,保障製程純淨度和設備壽命。
精準材料鑒別: 通過(guò)檢測氟元素的(de)存在與否,快速、明確區分YOF塗層與Y₂O₃塗層,確保關鍵防護部件(jiàn)使(shǐ)用(yòng)了正確的先進材料。告別依賴複雜實驗室分析或模糊的物理觀察!

· 案例2:含氟的持久性有機汙染物的(de)檢測
痛點:
PFAS分布廣(guǎng)泛(消防訓練場、工(gōng)業區、受汙染水體(tǐ)周邊、廢棄物處理點),傳統檢測流程繁瑣、昂貴且滯後,難以滿足快速響應和初步篩(shāi)查需(xū)求。PTFE製品在使用磨損後也可能釋放相關含氟物質。
TRACER 5G 解決方案:
現場初篩利器:快速掃描土壤、灰塵、沉積物、甚至某些固體廢棄(qì)物表麵,指(zhǐ)示可能存在PFAS汙(wū)染的熱(rè)點區(qū)域(氟作為PFAS的特征元素(sù)是其重要指示器)。雖然不能直接鑒定具體PFAS種類,但能大幅縮小需要送實驗室精(jīng)確(què)定(dìng)量分析的範圍(wéi),節省大量時間(jiān)和成本(běn)。
汙染源追蹤: 輔助判斷(duàn)可能的汙染源(如泄漏點、曆史使用區域)。
含氟材料識別: 快(kuài)速識別場地中是否含有高濃度的(de)含氟材料(如PTFE製品碎片、特定消防泡沫殘留物)。

產品價值 - TRACER 5G不(bú)僅(jǐn)僅是一台“手持(chí)設備”
科研級的檢(jiǎn)測能力: 它代表著當前手持(chí)式XRF分析儀技術的前沿水平(píng),性能直逼實驗室精密儀器。
寬泛的元素(sù)覆蓋: 從(cóng)超輕的鈉(Na)到重元素的鈾(U),一(yī)機覆蓋元素周(zhōu)期表兩(liǎng)端,滿(mǎn)足科(kē)學家和(hé)工程師的多元(yuán)化研究分析需求。
靈活性: 手持便攜設計,讓實(shí)驗室級的(de)精準分析隨時隨地發生在產線旁、設備旁、研發現(xiàn)場。
無損檢測: 無需破壞樣品(pǐn)! 珍貴晶圓、設備部件、現場樣本完好(hǎo)無損。
操作簡單: 非專家(jiā)經簡單培訓即可(kě)上手,降低使用門檻。
成本效益(yì): 大幅降低良率損失風險(xiǎn)、設備維護成(chéng)本、實驗室送檢(jiǎn)開銷及大(dà)規模環境篩查費用。
強(qiáng)大耐用: 專為工業現場和環境勘察設計。

無論您是:
追求良(liáng)率(lǜ)與製程控製的半導體大廠,
負責環(huán)境監測與修複的政府機構/環保公司,
還是需要(yào)管控供應鏈風險的材料/零部件供應商,
揭秘(mì)曆史真相的藝術品與考古機構(顏料成分無損鑒定、文物材質分析),
保(bǎo)障舌尖安全的食品/農業監管者與生產者(土壤養分/汙染元素(sù)篩查、食品接觸材(cái)料有害重金(jīn)屬遷(qiān)移檢測、肥料成分驗證),
勘探地球寶藏的(de)地(dì)質礦業團隊(礦樣現場快速品位評估、礦脈追蹤、環境本底調查(chá))
布(bù)魯克TRACER 5G手持式XRF分析儀,憑借革命性的石(shí)墨烯窗口技術,為您提(tí)供現場、快速、無損、精(jīng)準的氟元(yuán)素檢測(cè)方案,助您(nín)牢牢掌控氟這把“雙麵刃”!
即刻解鎖科研級手(shǒu)持分析新境界!







