更新時間：2023-03-28
產品品牌：Frontier Semiconductor
產品型號：
連續式四探針片電阻及光學膜厚（hòu）測量設備設計, 片電阻不受針尖距離影響（xiǎng）多種型號以供選擇:
自動（dòng）上下片(Cassette to cassette, C2C)
室溫至100°C 的測量(更高可選)
可添加並整合於多腔式的集（jí）束型架構設備（bèi）(cluster tool)
亦可在連續式設（shè）備內加入四探針片電阻及光學膜厚測量（liàng）, 適合薄膜太陽能(銅銦镓硒, CIGS)及平板顯示行業
基材尺寸:
450mm晶圓 (樣品（pǐn）台（tái）旋轉)
370 x 470mm 長方形基底 (XY樣品台)
連續式設備可以度身訂做, 沒有尺寸限製（zhì）
片電阻測量適合金屬薄膜（mó）、銅銦镓硒、非晶矽(矽（guī）)、碲化（huà）鎘、鉬、透（tòu）明（míng）導電薄膜(AlZnO2)、摻雜之後的矽(矽)、矽鍺及鍺
0.1 – 100,000 單位麵積奧姆值 (更（gèng）高可選)
可整合於連續式(INLINE)的生產線（xiàn）內, 而收集的測量數據可自動送到SCADA係（xì）統
光學膜厚測量功能可選
測量光斑<1mm
波（bō）長: 380-1050nm
可測量膜厚: 15-50nm, 多可（kě）達250nm
短時間重複性: ~0.1nm
長時間重複性（xìng）:: ~0.1nm
電話：86-021-37018108
傳真：86-021-57656381
郵（yóu）箱：info@qianmengwl.cn
地址：上海市鬆江區莘磚公路518號鬆江高科技（jì）園區28幢301室
