更新時間：2021-03-02
產品品（pǐn）牌：Semiconsoft
產品型號：MProbe係列
當一束光入（rù）射到薄膜表（biǎo）麵時，薄膜上表麵和下表麵的反射光（guāng）會發生幹涉，幹（gàn）涉的發生與薄膜厚度及光學常（cháng）數等有關，反射光譜薄膜測厚儀就是基於此原理來測量薄膜厚度。
反射膜（mó）厚儀（yí）是一種非接觸式、無（wú）損的、快速的光學薄膜厚度測量技術。
測量範（fàn）圍: 1 nm - 1 mm
波長範圍: 200 nm -8000 nm
光（guāng）斑尺寸:2um -3 um
標準配置中包含：
1. 主機(光譜儀，光源，電線)
2. 反射光纖
3. 樣品台及光纖適配器
4. TFCompanion軟（ruǎn）件
5. 校準套裝
6. 測試樣品（pǐn），200nm晶圓
廣泛的應用於各種工業生產及工藝監控中：
半導體晶圓，薄膜太（tài）陽能電池，液晶平板，觸摸屛，光（guāng）學鍍膜，聚合物薄膜等
半導體製造：· 光刻膠 · 氧化物（wù） · 氮化物（wù）
光學鍍膜：· 硬塗層 · 抗反射塗層 · 濾波片
生（shēng）物醫學：· 生物膜厚度 · 硝（xiāo）化纖維
電話（huà）：86-021-37018108
傳真：86-021-57656381
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